摘要:
七星氣體質量流量計套件由質量流量計,流量顯示器組成。量程範圍廣,從2SCCM~2000SLM可任意選擇。
產品應用
質量流量控製器(MFC)用於對氣體的質量流量進行精密地測量和控製。廣泛用於電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、製藥、光纖熔煉、分析測量儀器、製氣配氣等行業。
氣體質量流量計連接圖
氣體質量流量計側麵圖
氣體質量流量計顯示
★高性能價格比
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★管狀分流,使用壽命長
產品型號 |
定製 |
產品類型 |
普通型,抗電磁幹擾 |
流量量程 |
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
產品精度 |
±1.5%F.S. |
重複精度 |
±0.2% FS |
線性 |
±1%F.S. |
響應時間 |
≤10sec |
工作溫度範圍 |
(5~45)°C |
耐壓 |
3MPa |
密封材料 |
氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
輸入輸出信號 |
(0~5)VDC |
電源 |
±15V |
閥類型 |
常閉 |
溫度係數 |
|
零點飄移指標 |
- 無 - |
電氣連接 |
D sub 15 pins Female |
工作壓差範圍 |
(0.1~0.5) MPa |
漏率 |
1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 |
雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
表麵化學成分 |
- 無 - |
表麵粗糙度 |
- 無 - |
抗電磁幹擾 |
CE |
重量 |
1.1Kg |